ہم نے حال ہی میں آئن امپلانٹیشن کے بارے میں بات کی ، مثال کے طور پر:
آئن ایمپلانٹیشن کیوں؟
جب آپ آئنوں کو انجیکشن لگاتے ہیں تو آپ کو کسی خاص زاویہ سے کیوں انحراف کرنا پڑتا ہے؟
تاہم ، اس ٹکنالوجی کے نفاذ سے لامحالہ سلیکن ویفرز کے کرسٹل ڈھانچے کو نقصان پہنچتا ہے۔ اس نقصان کا آغاز سلیکن جالی میں داخل ہونے والے اعلی توانائی کے آئنوں کے ذریعہ پیدا ہونے والے جوہری سطح کے تصادم سے ہوتا ہے۔ جب اعلی توانائی والے آئن سلیکن مواد پر بمباری کرتے ہیں تو ، ان کی بے حد حرکیاتی توانائی اصل جوہری انتظام میں خلل ڈالتی ہے ، جس کی وجہ سے جعلی مسخ ، خالی جگہ کی تشکیل اور بیچوالا جوہری جمع ہوتا ہے۔
اس سے پہلے
یہ مائیکرو نقائص نہ صرف کیریئر کی نقل و حرکت کو کم کرنے کے لئے جامع مرکز تشکیل دیں گے ، بلکہ مقامی بینڈ ڈھانچے کی مسخ کا سبب بھی بن سکتے ہیں ، جو اس آلے کی برقی کارکردگی کو سنجیدگی سے متاثر کرے گا۔
آئن امپلانٹیشن کے منفی اثرات کو ختم کرنے کے لئے ، تھرمل اینیلنگ جعلی نقصان کی مرمت کے لئے ایک اہم قدم ہے۔ تھرمل علاج کے ل a ایک مخصوص درجہ حرارت کے ماحول میں سلیکن ویفروں کو لگائے جانے والے نجاستوں کے ساتھ رکھ کر ، جعلی ایٹموں کو دوبارہ ترتیب دیا جاسکتا ہے اور اسے ایک آرڈرڈ ڈھانچے میں بحال کیا جاسکتا ہے۔
اس عمل میں ، ناپاکی جوہری ابتدائی خلا کی پوزیشن سے جعلی متبادل مقام پر منتقل ہوجاتے ہیں ، تاکہ جالی کی سالمیت کو بحال کیا جاسکے اور نجاستوں کی بجلی کی ایکٹیویشن کا ادراک کیا جاسکے۔
اس سے پہلے
روایتی تھرمل اینیلنگ عام طور پر درجہ حرارت کی حد میں 600-1000 ڈگری میں کی جاتی ہے۔ درجہ حرارت کا اعلی ماحول جوہری بازی کے ل sufficient کافی توانائی مہیا کرتا ہے ، لیکن طویل عرصے سے گرمی کا علاج نجاستوں میں ضرورت سے زیادہ بازی کا باعث بن سکتا ہے اور پہلے سے تیار کردہ ڈوپنگ تقسیم کے پروفائل کو تبدیل کرسکتا ہے۔
یہ نقصان خاص طور پر نینو پیمانے پر عمدہ عمل میں نمایاں ہے ، جہاں نجاستوں کا تھرمل بازی آسانی سے ڈیزائن کے سائز کی حد کو توڑ سکتی ہے اور ٹرانجسٹر کی کارکردگی کو انحراف کا سبب بن سکتی ہے۔
روایتی انیلنگ کے عمل کی حدود کو توڑنے کے لئے ، ریپڈ انیلنگ ٹکنالوجی (آر ٹی اے) ابھری ہے۔ یہ ٹکنالوجی تیز رفتار حرارتی اور مختصر وقت کے علاج کے ل high اعلی توانائی کی کثافت گرمی کا ذریعہ استعمال کرتی ہے ، جس میں پلس لیزر اینیلنگ ، الیکٹران بیم انیلنگ اور زینون لیمپ فلیش اینیلنگ شامل ہیں۔
